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                      2.5次元測量儀在半導體晶圓行業上的應用

                      2020-12-17 10:42:00
                      晶圓是指制作硅半導體積體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。目前國內晶圓生產線以 8英寸和 12 英寸為主。
                       
                      晶圓的主要加工方式為片加工和批加工,即同時加工1 片或多片晶圓。隨著半導體特征尺寸越來越小,加工及測量設備越來越先進,使得晶圓加工出現了新的數據特點。同時,特征尺寸的減小,使得晶圓加工時,空氣中的顆粒數對晶圓加工后質量及可靠性的影響增大,而隨著潔凈的提高,顆粒數也出現了新的數據特點。
                       
                      晶圓的測量儀器有很多種。對集成電路來說:一般來說4寸晶圓的厚度0.520mm,6寸晶圓的厚度為0.670mm左右。晶圓必須要減薄,否則對劃片刀的損耗很大,而且要劃兩刀。我們做DIP封裝,4寸晶圓要減薄到0.300mm;6寸晶圓要減薄到0.320mm左右,誤差0.020mm。

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